Specification
| Heating plate dimension | 290mm×350mm×6mm |
| 工作區域高度 | 100mm |
| 加熱系統 | 最高溫度450℃ |
| 控溫精度 | ± 0.5℃ |
| Temp. uniformity | 優於± 2%（不含加熱板邊緣20mm區域） |
| 最大升溫速度 | 3℃/s |
| 最大降溫速度 | 0.85℃/s |
| 工藝氣路 | 質量流量計（MFC）控制，並配有電磁閥 |
| 腔室真空 | Pirani真空計，0.05mbar，乾式真空幫浦 |
| 控制系統 | Windows工控機+PLC控制，支援MES連接 |
| 選用功能 | 助焊劑模組、正壓能力、頂部加熱、掃碼槍等 |
| 供電要求 | AC380V，50/60Hz，16kW |