Specification
| 等離子頻率 | 13.56MHz |
| 等離子功率 | 標配600W（1000W可選） |
| 腔內尺寸 | W350mm✕D585mm✕H490mm (約80L) |
| 腔體材料 | 不銹鋼或鋁合金 |
| 電極 | 水平或垂直設計可選 |
| 料架 | 支援單層支架、多層支架、料盒支架（最多放置8個料盒） |
| 水平電極尺寸 | （標配）W290毫米✕D460毫米 |
| 腔室真空 | 優於5Pa |
| 真空規 | 皮拉尼規或電容薄膜規 |
| 真空幫浦 | 油泵或乾泵，抽速不低於50m 3 /h |
| 質量流量計 | 標配2路 |
| 控制系統 | 12.1”觸控螢幕+PLC控制，支援手動和自動操作，支援製程程式編輯/儲存/運行，支援製程數據自動記錄和顯示，支援連接MES系統 |
| 外形尺寸 | W860mm✕D1060mm✕H1870mm（不含三色燈） |
| Weight | 約350kg（不含真空幫浦） |
| Power Supply | AC380V，3P+N+PE，50Hz，4kW |
| 工藝氣體 | Ar、O2、Ar/H2混合氣等 |