RESISTIVITY & PN & TEMP. TES MODULE

產品集成方阻(電阻率)、PN 型、溫度三探頭一體式測量,可廣泛用於硅片分選機、生產過程分析等光伏及半導體測量領域。

一、特點

  • 集成電阻率、PN、溫度
  • 可再次集成厚度探頭
  • 主要應用於光伏領域

Specification

Specification方阻(電阻率)(厚度約100um)
探頭量程6-2000Ω/口 (0.1-30Ω*cm
探頭性能動態重複性動態重複性示值誤差
測試條件:採樣率 250SPS (4ms),60個點/每次
006-080Ω/口 (0.1-0.80•cm) <0.15%<0.02%≤士3%
080-160Ω/口 (0.8-1.60.cm)<0.3%<0.03%≤士3%
160-320Ω/口 (1.6-3.20 cm)<0.4%<0.05%≤士3%
320-2000Ω/口 3.2-20 0•cm)<0.5%<0.1%≤士3%
外形尺寸上探頭:Φ20*145mm     下探頭:Φ20*100mm     控制盒:173*130*55mm
信號採集採樣率:≤1ms,採集數據>300點

數據接口:RS232 RS485 CAN TCP/IP

傳輸協議:Modbus Rtu/Modbus Tcp、用戶自定義 SOCKET 協議等

自動溫度補償系統

原始信號可公開