Specification
儀器規格參數
| 機器主要性能 | 具體技術要求及指標 |
| 方阻測量範圍 | 四探針探頭可測方阻範圍：1×10E-6ohm/sq ~ 5×10E6ohm/sq |
| 四探針探頭測量類型 | 金屬層，植入，掺杂聚合物，硅化物和外延，高阻抗表面，基板 |
| 樣品尺寸 | 晶圓12寸以內，其他尺寸可定制 |
| 四探針系統電流量程 | 1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，50mA，500mA 七檔 |
| 四探針標準晶圓方阻重復性 | 1，≦0.1% (同點靜態測量) 2，≦0.1% (動態多點測量) |
| 四探針標準晶圓測量精度 | ≦±1% (典型晶圓) |
| 運動軸定位精度 | 50um |
| 測試圖形 | 1，極地圖形（在對位晶圓的notch） 2，矩形圖形（無效邊緣排除以外進行選擇） 3，直線掃描（可以是直徑，半徑或沿直徑的點到點，最小距離0.1mm） 4，用戶自定義（使用模板） |
| 測量圖形表示 | 可以為輪廓圖，3D圖，water上顯示的數據圖數據表示 |
| 探針自清潔功能 | 陶瓷片清潔 |
| 數據處理 | 所有設備測量的數據文件可以導入到Excel，Word文檔，工作站等， 數據圖形可以合併 |
四點探針頭主要參數
| 探頭型號 | 針尖半徑 | 針尖壓力 | 針尖間距 |
| A | 40μm | 100g | 1mm |
| B | 100μm | 100g | 1mm |
| C | 200μm | 100g | 1mm |
| D | 500μm | 70g | 1mm |
| E | 40μm | 200g | 1.591mm |
| F | 40μm | 100g | 0.635mm |
| G | 100μm | 100g | 0.635mm |
| H | 200μm | 100g | 0.635mm |
| 可客製化之參數 | 連接形式：連接器、線束、插針式 針尖排列形式：線性排列、正方形排列 | ||
