FILM RS TEST MODULE

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主要利用結光電壓技術非接觸測試具有 P/N 或 N/P 結構的樣品的方阻(發射極薄層方阻)。 本儀器為非接觸,非損傷測試,具有測試速度快,重複性佳,測試敏感性高,可以直接測試產品片 等優點。

Specification

探頭量程10-500Ω/口
探頭性能動態重複性動態重複性示值誤差
測試條件:採樣率 50SPS (20ms),20個點/每次
010-050Ω/口<2%<0.5%≤士3%
050- 200Ω/口<1%<0.2%≤士3%
200 – 500Ω/口<0.6%<0.15%≤士3%
外形尺寸探頭:60mm *30mm*100mm(L*W*H)        控制盒::173*130*55mm
信號採集採樣率:最大 500SPS
數據接口:RS232  RS485  CAN  TCP/IP
傳輸協議:Modbus Rtu/Modbus Tcp、用戶自定義 SOCKET 協議等