EFEM 全自動電阻率\遷移率測試儀
FortuneTell ▶ Products ▶ 封測檢測設備 ▶ EFEM FULLY AUTOMATIC RESISTIVITY \ MOBILITY TESTER ▶ EFEM FULLY AUTOMATIC RESISTIVITY \ MOBILITY TESTER

EFEM FULLY AUTOMATIC RESISTIVITY \ MOBILITY TESTER

SKU: efem-auto-tes Categories: , Tags: , , ,

EFEM(半導體設備前置模塊)從屬於半導體生產設備，其內部主要由晶圓裝載模塊、空氣過濾器 FFU、晶圓運輸機器人、晶圓對準裝置、晶圓讀碼裝置、自動化控制模塊等組成。其中晶圓裝教系統 (Loadport)、晶圓運輸機器人(Robot)、晶圓對準裝置(Aligner)和晶圓讀碼裝置(OCR)是最 核心的四大部件。

Specification

產品名稱及型號ModelApplication與進口對標設備
非接觸式渦流法方阻測試儀ER1110半導體材料襯底及外延測試

（Si, SiC, GaN，晶錠）

Semilab LEI-1510 系列

Napson NC-80MAP

非接觸式渦流法電阻率測試探頭ER-P1000光伏分選機，Si片分選Napson EC-80P
非接觸式SPV法PN測試探頭ER-P0100光伏分選機，Si片分選Napson PN-50a
非接觸式霍爾法遷移率測試儀HM-2000射頻GaN HEMT 結構外延片測試Semilab LEI-1610E100A系列
非接觸式JPV法表面方阻測試探頭SP-P3000電池片P擴或N擴後表面方阻Semilab CMS-1AP