Specification
Weight | 35kg |
Dimension | 460mm(長)× 505mm(寬)× 205mm(高) |
接口 | 以太網口× 1 DB9×1 電源線接口×1 腳踏開關×1 氣源口×1 開關按鈕× 1 |
方片:125mm x 125mm, 156mm x 156mm 圓片(寸):4”,5“,6”,8”,12“ | |
硅片要求 | 硅片厚度範圍:50um~1000um |
硅片電阻率範圍:0.1Ω*cm~20Ω*cm(電阻率範圍可定制)(厚度約180um) |
數具指標 | |
單點及多點厚度 | 誤差≤士3.00μm |
重複性≤士0.5μm | |
Resistivity | 誤差≤士3% |
重複性≤0.5% |
Environmental Requirements | |
Temperature | 22°C~25°C |
Relative Humidity | 35% ~60% |