MANUAL RESISTIVITY PN THICKNESS TESTER

桌上型手動電阻率PN厚度量測設備。它運用渦流法、表面光電壓法、電容法測試電阻率、PN和厚度,主要針對半導體及其他材料進行測量,同時根據各種不同的需要,配備了多款不同的測試平台以便供客戶選擇。

  • 應用

半尋體材料、太陽能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料、導電薄膜(金屬、離子等),擴散層,硅相關外延材料的樣品。

Specification

Weight35kg
Dimension460mm(長)× 505mm(寬)× 205mm(高)
接口以太網口× 1        DB9×1       電源線接口×1       腳踏開關×1 氣源口×1 開關按鈕× 1
方片:125mm x 125mm, 156mm x 156mm  圓片(寸):4”,5“,6”,8”,12“
硅片要求硅片厚度範圍:50um~1000um
硅片電阻率範圍:0.1Ω*cm~20Ω*cm(電阻率範圍可定制)(厚度約180um)
數具指標
單點及多點厚度誤差≤士3.00μm
重複性≤士0.5μm
Resistivity誤差≤士3%
重複性≤0.5%
Environmental Requirements
Temperature22°C~25°C
Relative Humidity35% ~60%