Specification
| 參數 | 探頭 | 方阻範圍 | 電阻率範圍 | 測試方法 |
| 量程 | 低阻探頭 | 0.005-1Ω/口 | 0.25-50mΩ* cm | 渦流法，非接觸式 |
| 中阻探頭 | 0.05-10Ω/口 | 2.5-500mΩ*cm | ||
| 高阻探頭 | 10-3000Ω/口 | 0.5-150Ω*cm | ||
| 錠探頭 | 0.01-2Ω*cm | |||
| 重復性 | ＜0.2%（≤50%量程範圍） ＜0.5%（>50%量程範圍） | |||
| Accuracy | ＜2% （≤50%量程範圍） ＜3%（>50%量程範圍） | |||
| 探頭信息 | 探頭類型：雙探頭（上下探頭，間距2-3mm） 探頭直徑：外徑20mm，內徑14mm（有效測試部分） 探頭間隙：30mm | |||
| 坐標設置 | 任意坐標設置 | |||
| 存儲數據 | 數據庫內部存儲（可導出表格文件） PDF測試報告，含測試信息（時間、操作員）、wafer信息（編號、尺寸、厚度），數據信息（測試點數，最大值，最小值，平均值，相對標準偏差等），等高線圖，曲面圖等。 CSV表格數據 可存儲至遠端服務器 可根據客戶需求修改相關報告信息 | |||
| WAFER信息 | 尺寸：2“-8”（英吋） 厚度：100- 1500mm | |||
| System Requirements | 供電：AC220V,50/60HZ 功率：600W 環境：溫度24°C士10°C 相對濕度：20%-80%RH 尺寸：975*465*425（mm） 壽命：>10年 | |||