Specification
| Specification | 描述 |
| 載流子遷移率測試範圍 | 100~20000cm2/V•s |
| 方塊電阻測試範圍 | 100-3000Ω/sq |
| 載流子濃度 | 1E + 11- 1E+14 |
| 載流子遷移率動態重複性 | ≤2% |
| 載流子遷移率靜態重複性 | ≤1% |
| 載流子遷移率測試準確性 | 士10% |
| 方塊電阻測試動態重複性 | ≤2% |
| 方塊電阻靜態重複性 | ≤1% |
| 方塊電阻測試準確性 | 士10% |
| 測試樣品允許厚度 | 200-1500um |
| 測試樣片尺寸 | 2-8″ |
| 磁感應強度 | 1.0T 可刪除可反轉 |
| 軟件功能 | 自動輸出包含Mapping,二維等高線圖3D圖的報告 |
| 自動傳送測試能力 | 可選配 |