產品規格
| 等離子頻率 | 13.56MHz |
| 等離子功率 | 標準600W (可選1000W) |
| 電極冷卻 | 氣冷，位於腔室底部 |
| 軌道數量 | 標配4軌道（數量可定制，最多5軌道） |
| 軌道寬度 | 30-60mm（5軌道），30-80mm（4軌道），大於80mm（1-3軌道）， 可快速自動調節 |
| UPH | 450片（5軌道模式） |
| 腔內尺寸 | W280mm✕D440mm✕H55mm |
| 質量流量計 | 標配2個，流量100sccm / MFC |
| 真空規 | 皮拉尼規或電容薄膜規 |
| 真空幫浦 | 內置，抽速≥50m 3 /h |
| 控制系統 | Windows觸控螢幕工控機+PLC控制，支援手動和自動操作， 支援製程程式編輯/儲存/運行，支援製程資料自動記錄和顯示，支援連接MES系統 |
| 外尺寸 | W1800mm✕D1080mm✕H1500mm（不含三色燈） |
| 重量 | 約700kg |
| 電源 | AC380V, 3P+N+PE, 50Hz, 4kW |