產品規格
| 等離子頻率 | 13.56MHz |
| 等離子功率 | 1000瓦 |
| 電極 | 水平或垂直設計可選 |
| 腔內尺寸 | W580mm✕D580mm✕H530mm (約170L) |
| 腔室容量 | 最多16個料盒 |
| 真空幫浦 | 初級泵+增壓泵，抽速不低於300m 3 /h |
| 腔室真空 | 優於5Pa |
| 真空規 | 皮拉尼規或電容薄膜規 |
| 質量流量計 | 標配1個（最多可選3個），流量100sccm |
| 控制系統 | Windows觸控螢幕工控機+PLC控制，支援手動和自動操作，支援製程程式編輯/儲存/運行，支援製程資料自動記錄和顯示，支援連接MES系統 |
| 外形尺寸 | W1000mm✕D1000mm✕H1850mm（不含三色燈） |
| 重量 | 約600kg |
| 電源 | 380V，3P+N+PE，50Hz，6kW |