產品規格
| 型號 | HP-300 |
| 最高溫度 | 300 °C |
| 加熱區域 | 310 × 310 mm |
| 加熱板尺寸 | 370 × 370 × 85 mm |
| 加熱板重量 | 13.3 kg |
| 控制器尺寸 | 240 × 200 × 150 mm |
| 控制器重量 | 3.5 kg |
| 電氣連接 | 380V/3P/N/PE，50Hz，9kW，16A |
| 安全等級 | IP32 |
高精密真空加熱板 HP-300
- 廠牌：德國UNITEMP
- 帶真空保持和外部控制器的高精度加熱板。
- 鋁製熱板，硬塗層，水冷外殼。
- 用於加熱300 × 300 mm尺寸的基板或300 mm的晶圓。
- 模塊化網格鑽孔25 × 25 mm。
- 真空鑽直徑1 mm。
- 最高溫度可達300°C
- 3區溫度測量（K型熱電偶）。
- 用於管理溫度曲線的UniSoft軟體。
