UV臭氧清洗機 FT-UV254

貨號: FT-UV254 分類: 標籤: ,
  • 254/185nm紫外線照射,無電漿製程跳弧損傷線路疑慮,最適合極細線寬晶圓之乾式清潔製程。
  • 強烈254nm/185nm光波伴隨高濃度臭氧進行表面清潔/改質。
  • 台製長壽命低壓汞燈。
  • 特殊燈管冷卻設計,最佳化照度表現。
  • 腔體誤開警報安全開關。
  • 產品加熱盤(選配)設計。

產品規格

型號FT-UV254
電源需求220V/單相/30A
氣體需求CDA 50SLM/熱排氣 80CMM
氣體管徑CDA 配置 3/8”SUS304 硬管
排氣管徑Ø50.8mm 廠務熱排
外型尺寸L800 × W600 × H875 mm
設備重量110 kg
工作平台圓形Ø300mm 或 方形300×300mm
照射腔室柵型汞燈×1 照射面積 300×300mm
產品放置尺寸Max. Ø300mm
產品照射高度5mm 至 25mm 可手動調整範圍
氮氣 PURGE/降溫照射完畢後手動 PURGE CDA 吹出臭氧
照射時間設定可設定照射時間
照射腔誤開警報亮警示燈蜂鳴器並關閉燈管
燈管電源異常警報亮警示燈蜂鳴器並停機

您可能也喜歡…