產品規格
| 可用工具 | 4點膠閥 2連接選擇器 3固化追逐 |
| 正確率 | ±30um @3sigma |
| 視覺系統 | 環氧樹脂/TIM 圖案檢測,PRS |
| 點膠模組 | 螺旋螺旋泵 Vol.控制:10mg ±3 %,5mg ±5 % 按重量調整 |
| 處理能力 | 運載晶舟尺寸:215 x 320mm |
System Features
| 可用工具 | 4點膠閥 2連接選擇器 3固化追逐 |
| 正確率 | ±30um @3sigma |
| 視覺系統 | 環氧樹脂/TIM 圖案檢測,PRS |
| 點膠模組 | 螺旋螺旋泵 Vol.控制:10mg ±3 %,5mg ±5 % 按重量調整 |
| 處理能力 | 運載晶舟尺寸:215 x 320mm |