全自動晶圓檢查機 CMM-2005

貨號: CMM-2005 分類: 標籤: , ,
  • 全自動晶圓檢查機可檢測晶圓缺陷類型:Particle、劃傷、損壞等。
  • 一次性完成模組的Particle檢測,Particle檢測精度1um,同時檢測sensor區域的三個部分(感應區、邏輯區、過渡區)。
  • AOI下游可選配緩存區,自動收料,可應對所有型號模組生產,通用性廣,可應對任意型號的模組檢測。
  • 具有報警功能,防止錯誤操作損壞機台或產品。
  • 資料統計功能。
  • 自動除塵功能(UPH根據產線情況會降低)。
  • 整板料檢測結果顯示功能。
  • 無塵設計(不鏽鋼鏡面)。
  • 防卡料設計,應對彎曲料板傳送不暢問題。
  • 產品良率99.5%以上。
  • 可與上下游設備通訊信號及數據連線使用,也可將產品資料上傳至MES系統(需提供通訊方式),支持不良品生成Map傳至下游設備。

產品規格

型號CMM-2005
設備尺寸L1325mm×W1131mm×H2250mm
設備重量1500kg
工作效率檢測效率≥2600PCS/H(單載板數量≥30PCS)
除塵效率≥2400(按2%不良率,單次除塵計算)
像素約70M
視場12.8 mm×9.6 mm
聚焦範圍12.8 mm×10.6 mm
景深0.06 mm
像素解析度0.001 mm
檢測精度0.001 mm
漏檢率0
誤判率0.5% 以內
檢測方式自動檢測、手動檢測可選
保護功能自動報警功能、急停功能
除塵功能自動除塵,相容不同長度除塵棒、除塵棒放置數量20支、防呆功能
其他功能三級操作權限、可以保存Load檔並可以導入修改
使用環境溫度10-25℃,濕度35%-80%RH(無結露)
室內潔淨度10級FFU
氣壓0.4-0.6 MPa
最大耗氣量56 L/Min
額定功率2.2KW
電壓AC 220V(單相)

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