產品規格
| 設備型號 | LK-MT-WPS1000 |
| 外形尺寸 | L*W*H—3300*1300*1900mm |
| 操作人力 | 1 人 (更換料倉) |
| 設計UPH | 15-20片/H |
| 植球精度 | ±15um |
| 植球良率 | 99.997% |
| 塗膠精度 | ±15um |
| 定位相機 | 600萬像素，定位精度3um |
| 檢測相機 | 6500像素，檢測精度1um |
| 適應晶圓尺寸 | 6寸~12寸 |
| Max植球能力 | 50萬pcs |
| 錫球直徑 | ≥60um |
| 錫球間距 | ≥120um |
| 軌道到地面高度 | 910~970mm |
| 電源電壓 | AC 220V, 50Hz |
| 供氣氣壓 | 0.5~0.7MPa |
| 平均耗氣量 | 80L/min |
| 額定功率 | 5KW |