微波大氣噴射系統
設備功能及應用
具備高效的材料表面活化和改性，有機污染物和氧化物去除的能力。
可應用於LCD，OLED 顯示器的生產製造，太陽能電池生產等多種領域，可清洗各種無機物、高分子、玻璃、金屬等多種材料。可應用於敏感電路。
產品特點
- 無電極損傷，無污染源，長壽命
- 能在高氣壓下維持等離子體
- 有較高的電離和分解程度
- 微波發生器穩定，易於控制
- 針對不同使用需求，噴管可客製化
- 等離子羽流長度、等離子覆蓋面積時域調整
- 無自偏壓，不會對精密電路造成任何損壞
- 等離子溫度低，清洗所用外層羽流溫度＜80℃，不會對產品造成連帶損傷