產品規格
| 微波功率 | 2.45GHz, Max 2000W |
| 腔體尺寸 | W370mm✕D560mm✕H70mm |
| 腔體材質 | 航空級鋁合金 |
| 氣路系統 | 標配2路MFC，更多需求可客製 |
| 真空規 | Pirani真空規 |
| 真空幫浦 | 乾泵或油泵可選 |
| 腔體真空度 | 優於5Pa |
| 工作流程 | 自動上料+自動清洗+自動下料 |
| 控制系統 | 工業電腦控制 |
| 電源 | 380V，50/60Hz |
在線式高密度微波等離子清洗機AMP-20LA
設備功能及應用
設備使用陣列式微波源設計，產生極高密度的等離子體，快速去除材料表面微觀污染物。整合先進自動化控制系統，配置高效自動上下料機構，無縫銜接產線上下游設備，大幅提升生產效率。
產品特點
- 無損傷清洗
- 高密度等離子體
- 清洗均勻性好
- 大面積清洗效率高
- 優秀的去氧化能力
- 先進的自動化控制系統