產品規格
| 微波功率 | 2.45 GHz，100-1000W |
| 腔體尺寸 | W400mm✕H435mm✕D495mm |
| 腔體材質 | 航空級鋁合金 |
| 氣路系統 | 標配2路MFC，更多需求可客製 |
| 真空規 | Pirani真空規 |
| 真空幫浦 | 乾泵或油泵可選 |
| 腔體真空度 | 優於5Pa |
| 工作台 | Φ340mm旋轉工作台 |
| 控制系統 | IPC+PLC控制 |
| 電源 | 380V，50/60Hz |
微波等離子清洗機MWD-80
設備功能及應用
主要用於材料表面微觀有機污染物去除、活化、改質、氧化還原及表面聚合塗層等處理，具有高效無損傷的特性。配置大容量腔室，適用於大量生產領域。
產品特點
- 無損傷清洗
- 優秀的去氧化能力
- 清洗選擇性好
- 製程溫度低
- 生產效率高
- 直覺的操作介面